中国科学院微电子研究所导师范元媛
作者：科大科院考研网 发表时间：2019-11-12 来源：研招办
科院考研推荐链接：
范元媛 女 硕导 中国科学院微电子研究所
电子邮件： fanyuanyuan@ime.ac.cn
通信地址： 北京市海淀区邓庄南路9号
邮政编码：
部门/实验室：光电中心
招生信息
招生专业
080300-光学工程
招生方向
激光技术
工作经历
工作简历
2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2012-07~2018-10,中国科学院光电研究院, 副研究员
2009-09~2012-06,中国科学院上海光机所, 博士研究生
2006-09~2009-06,厦门大学, 硕士研究生
2002-09~2006-06,山东大学, 本科学士
2012-07~2018-10,中国科学院光电研究院, 副研究员
2009-09~2012-06,中国科学院上海光机所, 博士研究生
2006-09~2009-06,厦门大学, 硕士研究生
2002-09~2006-06,山东大学, 本科学士
社会兼职
教授课程
专利与奖励
奖励信息
（1） 2016年度科技成果转化奖特等奖, 特等奖, 院级, 2017
（2） 第十九届中国专利奖优秀奖, 国家级, 2017
（3） 投稿论文被评为《中国激光》“优秀论文”, , 其他, 2016
（4） 投稿论文被评为《激光与光电子学进展》“优秀论文”, 其他, 2015
（5） 《激光与光电子学进展》“2011中国光学重要成果”, , 其他, 2012
（2） 第十九届中国专利奖优秀奖, 国家级, 2017
（3） 投稿论文被评为《中国激光》“优秀论文”, , 其他, 2016
（4） 投稿论文被评为《激光与光电子学进展》“优秀论文”, 其他, 2015
（5） 《激光与光电子学进展》“2011中国光学重要成果”, , 其他, 2012
专利成果
（ 1 ） 具有环形泵浦结构的固体激光器, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL 201310127541.6
（ 2 ） 一种连续调节激光相干长度的方法和装置, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL 201210552043.1
（ 3 ） 一种测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL 201210513131.0
（ 4 ） 准分子激光器复合腔, 2017, 第 3 作者, 专利号: US 9325143 B2（美国）；KR 1804551 B1（韩国）；RE 2607815 C1（俄罗斯）
（ 5 ） 一种具有环形腔结构的准分子激光系统, 2015, 第 5 作者, 专利号: PCT/CN2015/084740
（ 6 ） 精确测量高功率激光环境中光学镜片透过率的装置和方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510497130.5
（ 7 ） 一种基于光谱色散原理调节激光相干长度的方法和装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510172670.6
（ 8 ） 一种激光相干长度的调控装置和激光器, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611235206.8
（ 9 ） 精确测量高能紫外激光系统中光学镜片透过率的装置和方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201510338481.1
（ 10 ） 自种子注入双腔结构准分子激光器系统, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL201310712625.6
（ 11 ） 一种同时监测激光光谱及光谱能量分布的方法和装置, 2017, 第 2 作者, 专利号: ZL201410591968.6
（ 12 ） 光纤纤芯温度的测量方法, 2010, 第 2 作者, 专利号: ZL201010101770.7
（ 13 ） 光纤包层光滤除器, 2011, 第 3 作者, 专利号: ZL201110112212.5
（ 14 ） 一种光学元件透过率的测量方法及装置, 2012, 第 3 作者, 专利号: ZL201210524943.5
（ 15 ） 一种采用环形腔结构的气体激光器放大系统, 2013, 第 3 作者, 专利号: ZL201310220503.5
（ 16 ） 一种准分子激光器, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201510334996.4
（ 17 ） 一种光学元件透过率的测量方法及装置, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL201210524943.5
（ 18 ） 声波和激波控制装置, 2016, 第 4 作者, 专利号: 201610107773.9
（ 19 ） 一种高功率光学镜片测量装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201520610286.5
（ 20 ） 一种高能紫外光学镜片测量装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201520420745.3
（ 21 ） 基于标准具控制激光光谱及相干长度的调控装置和激光器, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201621454788.4
（ 22 ） 声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔, 2016, 第 4 作者, 专利号: ZL201620146902.0
（ 2 ） 一种连续调节激光相干长度的方法和装置, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL 201210552043.1
（ 3 ） 一种测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL 201210513131.0
（ 4 ） 准分子激光器复合腔, 2017, 第 3 作者, 专利号: US 9325143 B2（美国）；KR 1804551 B1（韩国）；RE 2607815 C1（俄罗斯）
（ 5 ） 一种具有环形腔结构的准分子激光系统, 2015, 第 5 作者, 专利号: PCT/CN2015/084740
（ 6 ） 精确测量高功率激光环境中光学镜片透过率的装置和方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510497130.5
（ 7 ） 一种基于光谱色散原理调节激光相干长度的方法和装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510172670.6
（ 8 ） 一种激光相干长度的调控装置和激光器, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611235206.8
（ 9 ） 精确测量高能紫外激光系统中光学镜片透过率的装置和方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201510338481.1
（ 10 ） 自种子注入双腔结构准分子激光器系统, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL201310712625.6
（ 11 ） 一种同时监测激光光谱及光谱能量分布的方法和装置, 2017, 第 2 作者, 专利号: ZL201410591968.6
（ 12 ） 光纤纤芯温度的测量方法, 2010, 第 2 作者, 专利号: ZL201010101770.7
（ 13 ） 光纤包层光滤除器, 2011, 第 3 作者, 专利号: ZL201110112212.5
（ 14 ） 一种光学元件透过率的测量方法及装置, 2012, 第 3 作者, 专利号: ZL201210524943.5
（ 15 ） 一种采用环形腔结构的气体激光器放大系统, 2013, 第 3 作者, 专利号: ZL201310220503.5
（ 16 ） 一种准分子激光器, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201510334996.4
（ 17 ） 一种光学元件透过率的测量方法及装置, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL201210524943.5
（ 18 ） 声波和激波控制装置, 2016, 第 4 作者, 专利号: 201610107773.9
（ 19 ） 一种高功率光学镜片测量装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201520610286.5
（ 20 ） 一种高能紫外光学镜片测量装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201520420745.3
（ 21 ） 基于标准具控制激光光谱及相干长度的调控装置和激光器, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201621454788.4
（ 22 ） 声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔, 2016, 第 4 作者, 专利号: ZL201620146902.0
出版信息
发表论文
（1） Transmissivity testing of calcium fluoride windows under high pulse repetition rate laser radiation at 193nm, SPIE, 2018, 第 2 作者
（2） Narrow-linewidth ArF excimer laser with high efficiency, 2017激光与光电子学国际会议(CLEO) Postdeadline Paper, 2017, 第 1 作者
（3） Efficient Self-seeding in a Long Cavity-length Discharge-excited Excimer Laser System, SPIE, 2017, 第 1 作者
（4） 高效率ArF准分子激光复合腔技术研究, Compound Cavity ArF Excimer Laser with High Efficiency, 中国激光, 2016, 第 1 作者
（5） Coherence length tunable solid-state lasers with hig, SPIE, 2016, 第 1 作者
（6） 高能窄带激光系统中光谱纯度检测的实验研究, Experimental Study on Spectral Purity Detecting in High-Energy Narrow-Linewidth Laser System, 激光与光电子学进展, 2015, 第 2 作者
（7） 相干长度连续可调的高稳定性固体激光器, Solid-state lasers with high power stability and continuously tunable coherence length, 中国激光, 2014, 第 2 作者
（8） 基于迈克尔逊腔光纤激光相干合成的输出特性, Output of coherent combining of fiber laser in Michelson cavity, 红外与激光工程, 2013, 第 4 作者
（9） Ef f icient heat transfer in high-power f iber lasers, Chinese Optics Lasers, 2012, 第 1 作者
（10） Thermal effects in kilowatt all-fiber MOPA, Optics Express, 2011, 第 1 作者
（11） Preparation, package and high-power fiber laser experiment of large mode-area fiber grating, SPIE, 2011, 第 1 作者
（2） Narrow-linewidth ArF excimer laser with high efficiency, 2017激光与光电子学国际会议(CLEO) Postdeadline Paper, 2017, 第 1 作者
（3） Efficient Self-seeding in a Long Cavity-length Discharge-excited Excimer Laser System, SPIE, 2017, 第 1 作者
（4） 高效率ArF准分子激光复合腔技术研究, Compound Cavity ArF Excimer Laser with High Efficiency, 中国激光, 2016, 第 1 作者
（5） Coherence length tunable solid-state lasers with hig, SPIE, 2016, 第 1 作者
（6） 高能窄带激光系统中光谱纯度检测的实验研究, Experimental Study on Spectral Purity Detecting in High-Energy Narrow-Linewidth Laser System, 激光与光电子学进展, 2015, 第 2 作者
（7） 相干长度连续可调的高稳定性固体激光器, Solid-state lasers with high power stability and continuously tunable coherence length, 中国激光, 2014, 第 2 作者
（8） 基于迈克尔逊腔光纤激光相干合成的输出特性, Output of coherent combining of fiber laser in Michelson cavity, 红外与激光工程, 2013, 第 4 作者
（9） Ef f icient heat transfer in high-power f iber lasers, Chinese Optics Lasers, 2012, 第 1 作者
（10） Thermal effects in kilowatt all-fiber MOPA, Optics Express, 2011, 第 1 作者
（11） Preparation, package and high-power fiber laser experiment of large mode-area fiber grating, SPIE, 2011, 第 1 作者
发表著作
科研活动
科研项目
（ 1 ） 基于光谱控制的相干长度连续调谐技术研究, 主持, 国家级, 2015-01--2017-12
（ 2 ） ArF准分子激光复合腔理论及实验研究, 主持, 市地级, 2016-01--2017-06
（ 3 ） 40W 4kHz ArF曝光光源产品研发 课题2 激光放电腔研发, 参与, 国家级, 2013-01--2020-12
（ 4 ） 浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设, 参与, 国家级, 2016-01--2020-12
（ 5 ） 深紫外全固态激光系统设计与分析, 主持, 市地级, 2019-06--2021-06
（ 2 ） ArF准分子激光复合腔理论及实验研究, 主持, 市地级, 2016-01--2017-06
（ 3 ） 40W 4kHz ArF曝光光源产品研发 课题2 激光放电腔研发, 参与, 国家级, 2013-01--2020-12
（ 4 ） 浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设, 参与, 国家级, 2016-01--2020-12
（ 5 ） 深紫外全固态激光系统设计与分析, 主持, 市地级, 2019-06--2021-06
参与会议
（1）Research Status and Analysis of Fifth-harmonic-generation for ~1μm 环太激光损伤暨薄膜物理与应用国际会议 2019-05-20
（2）Efficient Self-seeding in a Long Cavity-length Discharge-excited Excimer Laser System 2017 年国际应用光学与光子学技术交流会 Fan Yuanyuan 2017-06-05
（3）Narrow-linewidth ArF excimer laser with high efficiency 2017激光与光电子学国际会议(CLEO) Postdeadline Paper Fan Yuanyuan 2017-05-18
（4）Coherence length tunable solid-state lasers based on Fabry-Perot etalon 2016国际光电技术与应用系列创新研讨会 2016-05-10
（2）Efficient Self-seeding in a Long Cavity-length Discharge-excited Excimer Laser System 2017 年国际应用光学与光子学技术交流会 Fan Yuanyuan 2017-06-05
（3）Narrow-linewidth ArF excimer laser with high efficiency 2017激光与光电子学国际会议(CLEO) Postdeadline Paper Fan Yuanyuan 2017-05-18
（4）Coherence length tunable solid-state lasers based on Fabry-Perot etalon 2016国际光电技术与应用系列创新研讨会 2016-05-10
